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2019年07月17日

受热是否均匀是提高蒸发源质量的重要技术

在真空镀膜过程中,需要通过蒸发源将蒸镀材料蒸发(或升华)为蒸汽,蒸汽在待蒸镀物体表面凝结后形成膜层。因此,蒸发源产生的蒸汽是否均匀,对所形成的膜层的质量是十分重要的。蒸发源通常为“线源”形式,其包括长条形的腔室,腔室顶部均匀开设有多个出气孔,底部则连接坩埚,坩埚用于盛放蒸镀材料并将其蒸发,产生的蒸汽进入腔室后并从喷嘴排出。

成膜质量与蒸镀的温度、速率有直接联系。要得到均匀的膜层,就需要蒸镀材料受热均匀。而目前产线在用的蒸发源导致坩埚温度分布不均主要原因有:加热丝变形,坩埚放置偏位、坩埚周围热反射受热变形等导致的热传导环境发生改变。 综上所述,现有技术的蒸发源,坩埚受热不均匀,使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀,成膜质量欠佳,进而难以生产出高品质的OLED显示面板。

所以,也导致目前很多手机的OLED显示屏要比LCD显示屏贵出很多倍,这也很可能是其中一个原因,所以说蒸发源技术也需要不断创新变化发展,如果单从受热均匀这块说,也是很可能生产出高品质的OLED显示屏的。